Excimer

Nejvyšší výkon emitovaného ultrafialového záření se používá při výrobě polovodičových desek, leptání světlocitlivé vrstvy v litografii a na výrobu ozónu.
 
Jedinečný zářič excimer XERADEX xenon OSRAM otvírá uživateli nové možnosti v technologiích zpracování velmi citlivých povrchů. Patentovaný pulzní provoz umožňuje zčtyřnásobení účinnosti zářiče ve srovnání s běžně používanými excimery. Tím dojde k tomu, že je 40 % navázané energie přeměněno v zužitkovatelné ultrafialové záření, a odpadá nutnost dodatečné chlazení. Vysoká efektivita a kompaktnost je výhodná pro flexibilní využití v mnoha náročných oblastech, od povrchové úpravy skleněných tabulí a desek plošných spojů, výrobu ozonu, sušení laků, po čištění vody a mnoha dalších.
 
Hlavní přednost zářiče XERADEX spočívá v patentované pulzní technologii ve spojení s inovativním designem. Jedna z obou elektrod je umístěna zvenku na zářiči. Přitom působí křemičitá baňka jako bariéra, která zamezuje během výboje vzniku oblouku. Pokud je použit jako plnicí plyn xenon, jak je tomu právě u zářičů XERADEX, a pulzní napětí je zapojeno přes speciální předřadník, tvoří se metastabilní excimerní molekuly xenonu (Xe2*), které při rozpadu emitují záření VUV v oblasti 172 nm. Zářiče XERADEX emitují inkoherentní záření VUV.
 
Z důvodu výjimečné efektivity systémů je možné upustit od dodatečného chlazení, protože teplota zářiče nepřesahuje 80°C. Lze proto vytvořit kompaktní a flexibilní systémy, které umožňují integraci zářičů XERADEX do nejpokrokovějších výrobních systémů.

 

 

Možnosti využití

  • Aktivace a modifikace povrchů

  • Výroba ozónu

  • Čištění vody a výroba nejčistší vody

  • Evaluace luminiscenčních substancí

  • Fotochemické pokusy




 


 

Možnosti využití

  • Aktivace a modifikace povrchů

  • Výroba ozónu

  • Čištění vody a výroba nejčistší vody

  • Evaluace luminiscenčních substancí

  • Fotochemické pokusy


Aktivace a modifikace povrchů

  • Odstraňování polymerů:

    • Odstraňování organických zbytků na skle, křemičitých a jiných substrátech

    • Čištění fotografických masek

    • Zlepšování povrchových vlastností fotosenzitivních materiálů

    • Zvýšení účinku při nanášení vrstev

    • Odstraňování fotolaků

    • Leptání chemicky odolných látek (např., teflon)

  • Opracovávání povrchů:

    • Aktivování vazeb povrchů

    • Změna úhlu smáčení na skle, křemičitých vrstvách

    • Zvýšení účinku při nanášení vrstev na sklo, křemičité povrchy

    • Lepší účinky bonderizace

    • Lepší a rychlejší vznik vakua v procesních komorách

  • Pro UV/ozónové čištění není třeba externí přístroj na výrobu ozónu.

  • Fotoindukované pokovování na různých povrchách, např. plastech, probíhá při pokojové teplotě

  • Fotoindukované procesy CVD mohou probíhat za nižších teplot (high k-deposition, vysoký narůst rychlosti, nízké teploty)

  • Matování laků: vytváření mikrozáhybů na vrstvě .laku, tvrdnoucího účinky záření, za účelem tvorby matných povrchů

Výroba ozónu

  • Přímá disociace kyslíku pomocí záření XERADEX s velkou energií a výroba ozónu bez vzniku vedlejších produktů, např. NOx

  • Vysoce efektivní produkce ozónu pomocí XERADEX: účinnost přes 82 g/kWh

  • Chlazení není nutné

  • Produkce ozónu in-situ

Čištění vody a výroba nejčistší vody

  • Efektivní výroba reaktivních radikálů -OH

  • Kompletní mineralizace organických součástí

  • Výroba nejčistší vody

Další možnosti využití

  • Evaluace luminiscenčních substancí pro plazmové displeje

  • Fotochemické pokusy





     

Přehled jedinečných předností kompaktních systémů XERADEX:

  • Poprvé je k dispozici skutečně výkonný zdroj záření VUV pro různé náročné způsoby využití v průmyslu

  • 40% efektivita znamená, že již není zapotřebí chlazení – teplota zářiče je nižší než 80°C – "chladné záření"; to umožňuje využití pro nízkoteplotní procesy

  • Systém, který se skládá ze zářiče a elektronického předřadníku, je velmi kompaktní a lehce ovladatelný

  • Možnost jednoduchých, kompaktních ozařovacích systémů, minimalizujících nároky na prostor v nákladném bezprašném prostředí

  • Zářiče emitují záření ihned, bez nutnosti zahřívací fáze, zapalování není závislé na okolní teplotě, zákryt není nutný

  • Počet spínacích cyklů je neomezen, zářič je možné spustit hned po vypnutí bez vlivu na snížení jeho životnosti

  • PLC výstup

  • Provoz zářiče je možný v různých podmínkách, např. v prostředí procesních plynů a ve vakuu

  • Zářič je šetrný k životnímu prostředí, protože obsahuje pouze vzácné plyny a ne rtuť